Добавить в избранное
Форум
Правила сайта "Мир Книг"
Группа в Вконтакте
Подписка на книги
Правообладателям
Найти книгу:
Навигация
Вход на сайт
Регистрация



Популярные книги



Название: Металлизация ультрабольших интегральных схем
Автор: Д.Г. Громов, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин, В.И. Шевяков
Издательство: БИНОМ. ЛЗ
Год: 2012
Страниц: 277
ISBN: 978-5-9963-0915-3
Формат: PDF
Размер: 10.7 Мб
Язык: русский

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Оглавление

Глава 1. Развитие систем металлизации кремниевых ИС. Основные проблемы
Глава 2. Выпрямляющие контакты
Глава 3. Омические контакты
Глава 4. Формирование силицидных контактных слоев
Глава 5. Пути повышения тепловой устойчивости систем металлизации. Принципы создания диффузионно-барьерных слоев
Глава 6. Диэлектрические слои многоуровневой системы металлизации
Глава 7. Особенности технологий многослойной системы металлизации с медными межсоединениями

Скачать Громов Д.Г. и др. - Металлизация ультрабольших интегральных схем








Нерабочая ссылка? Вам СЮДА


Успейте скачать!!!
Ссылки на скачивание книг ЗАПРЕЩЕННЫХ ИЗДАТЕЛЬСТВ удаляются через 3 дня с момента публикации и заменяются (по договору с АЗАПИ) партнерскими ссылками магазина LITRES!



Автор: MIHAIL62 26-10-2017, 22:17 | Напечатать |
 
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.




С этой публикацией часто скачивают:

  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent





Нажимая на кнопку "Отправить", Вы даете согласие на обработку персональных данных, а также подтверждаете условия "Политики конфиденциальности" настоящего сайта.


 MirKnig.Su  ©2017     При использовании материалов библиотеки обязательна обратная активная ссылка    Политика конфиденциальности