Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов Автор: Брюэр Дж. Р. (ред.) Издательство: М.: Радио и связь Год: 1984 Cтраниц: 336 Формат: pdf Размер: 17 мб Язык: русский
Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технической работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Скачать Брюэр Дж. Р. (ред.) - Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
|