Название: MEMS: Fundamental Technology and Applications Автор: Vikas Choudhary, Krzysztof Iniewski Издательство: CRC Press Серия: Devices, Circuits, and Systems (Book 15) ISBN: 1466515813 Год: 2013 Язык: английский Страниц: 478 Формат: pdf Размер: 64.33 MB
За последние десять лет в отрасли микроэлектромеханических систем (МЭМС) произошел бурный рост. Их применение варьируется от акселерометров и гироскопов, используемых в автомобильной безопасности до высокоточных встроенных генераторов на кристалле для эталонных генераторов и мобильных телефонов. Книга "МЭМС: Фундаментальные технологии и применение" объединяет новаторские исследования в области технологии микроэлектромеханических систем и исследует разнообразный набор новых применений, которые поддерживает эта технология. В книге представлены материалы ведущих экспертов из промышленности и академических кругов со всего мира. Авторы объясняют теоретическую основу и предоставляют практические идеи применения технологии. От исторической эволюции наномикросистем до последних тенденций...
Скачать MEMS: Fundamental Technology and Applications (Devices, Circuits, and Systems)
|