Название: Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников Автор: Луфт Б.Д. (ред.) Издательство: Радио и связь Год: 1982 Страниц: 134 Формат: DjVu Размер: 20,4 МБ Язык: Русский
Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений А3В5, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений.
Скачать: Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
|