Название: Технология полупроводникового кремния Автор: Реньян В.Р. Издательство: Металлургия Год: 1969 Формат: DjVu Страниц: 336 Размер: 10.5 MB Язык: Русский
Приводится большой материал по физико-химическим, электрическим, оптическим и механическим свойствам кремния, технологическим процессам получения кремния (химическим методам получения кремния, выращиванию монокристаллов и пленок, легированию) и его использованию (приготовлению оптических элементов, диффузии, резки и т. д.). Предназначается для инженеров, конструкторов, проектировщиков металлургической и электронной промышленности. Может быть полезна студентам и аспирантам, специализирующимся в области получения и использования кремния.
Скачать Реньян В.Р. - Технология полупроводникового кремния [1969, DjVu]
|