Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторовКНИГИ » АППАРАТУРА
Название: Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов Автор: Красников Г.Я. Издательство: М.: Техносфера Год: 2011 Страниц: 800 ISBN: 978-5-94836-289-2 Формат: PDF Размер: 25 Мб Язык: русский Серия: Мир электроники
В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.
Скачать Красников Г.Я. - Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов (2011)
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
С этой публикацией часто скачивают:
Технологические процессы лазерной обработки Название: Технологические процессы лазерной обработки Автор: Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н., Мисюров А.И. Издательство: МГТУ им. Н. Э. Баумана Год:...
Физика измельчения Название: Физика измельчения Автор: Г.С. Ходаков Издательство: Наука Год: 1972 Формат: PDF Страниц: 309 Размер: 34.0 MB Язык: Русский Изложены...
Мощные полевые транзисторы и их применение Название: Мощные полевые транзисторы и их применение Автор: Окснер Э.С. Издательство: Радио и связь Год: 1985 Формат: pdf Страниц: 288 Размер: 16 Mb...