|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Название: Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов Автор: Красников Г.Я. Издательство: М.: Техносфера Год: 2011 Страниц: 800 ISBN: 978-5-94836-289-2 Формат: PDF Размер: 25 Мб Язык: русский Серия: Мир электроники
В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.
Скачать Красников Г.Я. - Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов (2011)
|
Автор: MIHAIL62 7-05-2018, 17:21 | Напечатать |
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
С этой публикацией часто скачивают:
|
|
Физика измельчения Название: Физика измельчения Автор: Г.С. Ходаков Издательство: Наука Год: 1972 Формат: PDF Страниц: 309 Размер: 34.0 MB Язык: Русский Изложены... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.
|
|
|
|
|
br>
|