Название: МОП-СБИС: Моделирование элементов и технологических процессов Автор: Антонетти П. Издательство: М.: Радио и связь Год: 1988 Cтраниц: 496 Формат: pdf Размер: 26 мб Язык: русский
Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем (ИС) и электрических характеристик их основных элементов - МОП-транзисторов. Рассмотрены модели диффузии, ионной имплантации, окисления, отжига, литографии, осаждения, травления и модели, описывающие функционирование МОП-транзисторов. Подробно обсуждены области применимости этих моделей для анализа работы приборов в различных режимах. Приведены основные алгоритмы, используемые при моделировании технологических процессов и приборов на основе МОП-структур. Показано, как эти алгоритмы реализуются в существующих программах одно- и двумерного математического моделирования, и описаны структуры программ. Продемонстрировано, каким образом происходит стыковка программ моделирования технологических процессов и программ расчета характеристик приборов. Большое внимание уделено обсуждению специфических двумерных эффектов, приобретающих все большее значение в связи с уменьшением характерных размеров элементов ИС. При этом речь идет как об особенностях физических моделей, которые важны для учета двумерных эффектов, так и об особенностях их численного анализа. Книга адресована прежде всего специалистам в области математического моделирования в микроэлектронике. Кроме того, она будет полезна разработчикам кремниевых ИС, специалистам по технологии их производства, а также аспирантам и студентам соответствующих специальностей.
Автоматизация технологических процессов Название: Автоматизация технологических процессов Автор: Селевцов Л.И. Издательство: Академия Год: 2014 Формат: pdf ISBN: 978-5-4468-0615-7 Размер:...
Навигация
Вход на сайт
Реклама
МОП-СБИС: Моделирование элементов и технологических процессов 
