Название: Физические основы микроэлектроники : учебник для студентов высших учебных заведений Автор: Марголин В. И. Издательство: Академия Год издания: 2008 Страниц: 400 ISBN: 978-5-7695-4227-5 Формат: DjVu, PDF Размер: 10,6 Мб Язык: русский
Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.
Скачать Физические основы микроэлектроники: учебник для студентов высших учебных заведений
|