Название: Физические основы кремниевой наноэлектроники Автор: Зебрев Г.И. Издательство: М.: Бином. ЛЗ Год: 2011 Страниц: 240 ISBN: 978-5-9963-0181-2 Формат: PDF Размер: 37 Мб Язык: русский Серия: Нанотехнологии
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
Скачать Зебрев Г.И. - Физические основы кремниевой наноэлектроники (2011)
|