Название: Физические основы кремниевой наноэлектроники Автор: Зебрев Г.И. Издательство: М.: БИНОМ. ЛЗ Год: 2012 Страниц: 242 ISBN: 978-5-9963-1447-8 Формат: PDF Размер: 11 Мб Язык: русский Серия: Нанотехнологии
Предметом данного учебного пособия является кремниевая наноэлектроника, под которой понимают электронику на основе кремниевых наноразмерных МОП-транзисторов. Книга предназначена, в первую очередь, студентам, специализирующимся в области микро- и наноэлектроники. Для лучшего восприятия изложение ведется по возможности в замкнутом виде от простого к сложному. Тем не менее предполагается наличие у читателей базовых знаний из курса общей физики и элементарных знаний физики полупроводников и полупроводниковых приборов. Пособие подготовлено на основе курса лекций «Физические основы наноэлектроники», читаемого автором на протяжении ряда лет для студентов кафедры микро- и наноэлектроники и Высшего физического колледжа Московского инженерно-физического института (Национального исследовательского ядерного университета; МИФИ).
Оглавление
Предисловие ... 3 Глава 1. Базисные физические уравнения ... 5 Глава 2. Особенности приборов КМОП-технологии ... 30 Глава 3. Структуры металл—окисел—полупроводник ... 54 Глава 4. Вольт-амперные характеристики МОПТ ... 85 Глава 5. Физические процессы в каналах МОПТ ... 105 Глава 6. Эффекты сильных электрических полей ... 129 Глава 7. Диффузионно-дрейфовая модель тока в МОПТ ... 143 Глава 8. Транзисторы технологии «кремний-на-изоляторе» ... 159 Глава 9. Моделирование транзисторов КНИ-технологий ... 174 Глава 10. Токи утечки в наноэлектронных структурах ... 188 Глава 11. Мезоскопические эффекты в наноэлектронных структурах ... 210 Литература ... 225 Приложения ... 233
Скачать Физические основы кремниевой наноэлектроники (2-е изд.)
|