 Название: Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
Автор: Мокеев О.К., Романов А.С.
Издательство: М.: Высшая школа
Год: 1979
Формат: DjVu/PDF
Страниц: 272
Размер: 65.7 MB
Язык: Русский
В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.
Скачать Мокеев О.К., Романов А.С. - Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [1979, DjVu/PDF]
|
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем 
