Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2-х частяхКНИГИ » АППАРАТУРА
Название: Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2-х частях Автор: М.А.Королев, Т.Ю.Крупкина Издательство: М.: Бином. Лаборатория знаний Год: 2012 Страниц: 405+424 Формат: PDF Размер: 15.24 Mb Язык: Русский
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Основы микроэлектроники (2008) Название: Основы микроэлектроники Автор: Ефимов И.Е., Козырь И.Я. Издательство: Лань Год: 2008 Страниц: 384 ISBN: 978-5-8114-0866-5 Формат: PDF...
Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники Название: Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники Автор: Старосельский В.И. Издательство: М.: Высшее образование ISBN: 978-5-9692-0261-0...
Кремний - материал наноэлектроники Название: Кремний - материал наноэлектроники Автор: Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н. Издательство: Техносфера Серия: Мир материалов и...
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2-х частях 
