Название: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем Автор: Родионов Ю. А. Издательство: Лань Год: 2021 Cтраниц: 220 Формат: pdf Размер: 12 мб Язык: русский
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Скачать Родионов Ю. А. Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
|