Название: Процессы микро- и нанотехнологий Автор: Пивоваренок С.А., Ситанов Д.В. Издательство: Иваново: Ивановский государственный химико-технологический университет Год: 2016 Формат: pdf Страниц: 255 Размер: 22 mb Язык: русский
Учебное пособие содержит описание базовых процессов планарной технологии изготовления интегральных микросхем в микро и наноэлектронике. Рассматриваются процессы очистки материалов, получение эпитаксиальных пленок на поверхности подложек, формирование защитных и пассивирующих покрытий, а также фотолитография, диффузия и изготовление печатных плат. Каждый раздел пособия содержит перечень вопросов для самоподготовки. С целью получения практических навыков и закрепления теоретического материала в пособие включены шесть базовых лабораторных работ по основным технологическим процессам.
Введение. Очистка полупроводниковых подложек. Эпитаксия. Процессы формирования защитных и пассивирующих покрытий. Процессы создания топологии микрорельефа в технологии микро- и наноэлектроники. Высокотемпературная диффузия примеси в объем полупроводниковой подложки. Технологические процессы изготовления односторонних и двухсторонних печатных плат. Технологические процессы изготовления многослойных печатных плат. Приложения. Определение толщины оксидной пленки методом цветовых оттенков Ньютона. Основные материалы и операции, используемые при изготовлении печатных плат. Технологические маршруты изготовления печатных плат. Список рекомендуемой литературы.
Термические процессы в микроэлектронике Название: Термические процессы в микроэлектронике Автор: Моряков О. С. Издательство: Высшая школа Год: 1987 Формат: PDF/DjVu Страниц: 202 Размер: 10...
Физические процессы при напылении наночастиц Название: Физические процессы при напылении наночастиц Автор: Павлючко А.И., Прокофьева Н.И., Панфилова М.И. Издательство: М.: НИУ МГСУ Год: ...
Процессы микро- и нанорезания материалов Название: Процессы микро- и нанорезания материалов Автор: Грабченко А.И., Лымарь Е.А., Фадеев В.А. Издательство: Харьков: ХПИ Год: 2013 Формат: pdf...
Краткий справочник гальванотехника Название: Краткий справочник гальванотехника Автор: Ямпольский А.М., Ильин В.А. Издательство: Машиностроение Год издания: 1981 Количество страниц:...
Детонационные процессы в двухфазных средах Название: Детонационные процессы в двухфазных средах Авторы: Гладилин А.М., Григоров А.И., Сагадуллин Г.Г. Издательство: М.: Недра Год: 1991...
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Процессы микро- и нанотехнологий 
