Оборудование полупроводникового производстваКНИГИ » АППАРАТУРА
Название: Оборудование полупроводникового производства Автор: Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Издательство: Машиностроение Год: 1986 Cтраниц: 280 Формат: pdf Размер: 102 мб Язык: русский
Изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами, и даны практические рекомендации по их реализации. Отмечена необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Для студентов, изучающих оборудование полупроводникового производства в курсах «Полупроводниковые и микроэлектронные приборы», «Технология специальных материалов электронной техники» и «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение».
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Оборудование полупроводникового производства 
