 Название: Измерения и контроль в микроэлектронике Автор: Дубовой Н.Д., Осокин В.И., Очков А.С. и др. Издательство: М.: Высшая школа Год: 1984 Страниц: 367 Формат: PDF Размер: 13.4 Мб Язык: русский
В книге рассматриваются основные контрольно-измерительные операции, методы и средства контроля, используемые при производстве интегральных микросхем. Для формирования у студентов единого подхода к вопросам измерения и контроля материал пособия излагается на основе действующих государственных и отраслевых стандартов. С этой же целью в нем рассматриваются главные понятия из области метрологии и основы технологии изготовления интегральных микросхем.
Скачать Дубовой Н.Д. и др. - Измерения и контроль в микроэлектронике
|