Название: Основы анализа поверхности и тонких пленок Автор: Фелдман Л., Майер Д. Издательство: М.: Мир Год: 1989 Формат: pdf Страниц: 344 Размер: 11 mb Язык: Русский
Монография, написанная известными американскими специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов и рентгеновского излучения для анализа структуры и состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне.
Физика поверхности твердых тел Название: Физика поверхности твердых тел Автор: Владимиров Г.Г. Издательство: Лань Год: 2016 Страниц: 349 ISBN: 978-5-8114-1997-5 Формат: PDF...
Плазменная технология в производстве СБИС PDF Название: Плазменная технология в производстве СБИС PDF Автор: Айнспрук Н. Браун Д. Издательство: Москва, МИР Год: 1987 Страниц: 471 Формат: PDF...
Введение в физику поверхности (2005) Название: Введение в физику поверхности Автор: Оура К., Лифшиц В.Г. и др. Издательство: М.: Наука Год: 2005 (2006) Cтраниц: 490 Формат: pdf Размер:...