Название: Плазменная технология в производстве СБИС PDF Автор: Айнспрук Н. Браун Д. Издательство: Москва, МИР Год: 1987 Страниц: 471 Формат: PDF Размер: 70,0 МБ Язык: Русский
Книга ведущих специалистов из США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС. Это своеобразная энциклопедия по физики, химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно плазменных методов. Книга предназначена для специалистов в области физики и химии плазмы, технологии микроэлектроники, а также для студентов соответствующих специальностей. В книге рассмотрены вопросы напыления тонких пленок различных соединений. Достаточно подробно рассмотрены вопросы химического и плазмохимического осаждения тонких диэлектрических пленок, в том числе нитрида и оксида кремния. Описаны физические и химические процессы реактивного и ионного травления, особое внимание уделено технологическим аспектам процессов производства СБИС.
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
С этой публикацией часто скачивают:
Плазменная наплавка металлов Название: Плазменная наплавка металлов Автор: Вайнерман А.Е., Шоршоров М.Ш. и др. Издательство: М.: Машиностроение Год: 1969 Формат: PDF Страниц:...
Физика и технология источников ионов Название: Физика и технология источников ионов Автор: Браун Я. Издательство: Мир Год: 1998 Формат: pdf Страниц: 483 Размер: 154.8 Мб Язык: русский ...
Магнитооптика тонких пленок Название: Магнитооптика тонких пленок Автор: А.К. Звездин, В.А. Котов Издательство: М.: Наука Год: 1988 ISBN: 5-02-013846-0 Серия: Проблемы науки и...
Технология микроэлектронных устройств Название: Технология микроэлектронных устройств Автор: Готра З.Ю. Издательство: Радио и связь Год: 1991 Формат: djvu Страниц: 530 Размер: 10 Mb Язык:...
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Плазменная технология в производстве СБИС PDF 
