Название: Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники Автор: Джоветт Ч.Е. Издательство: Москва: Металлургия Год: 1980 Формат: pdf/djvu Страниц: 112 Размер: 11 mb Язык: русский
В книге изложены принципы создания микроэлектронных устройств на основе различных технологических процессов нанесения тонких и толстых пленок. Исходя из современной практики их изготовления, проведен сравнительный анализ особенностей технологии производства тонких и толстых пленок, тонкопленочных микроволновых устройств, рассмотрены возможности, которые открывает использование гибридных элементов толстопленочных схем; обсуждены вопросы металлургической совместимости материалов, из которых изготовлены эти элементы. Кроме того, описаны типы многослойных разводок и техника их получения, процессы формирования толстопленочных резистивных структур, а также ряд других вопросов.
Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства тонких и толстых пленок для микроэлектроники, разработки и производства гибридных интегральных микросхем, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей.
Плазменная технология в производстве СБИС PDF Название: Плазменная технология в производстве СБИС PDF Автор: Айнспрук Н. Браун Д. Издательство: Москва, МИР Год: 1987 Страниц: 471 Формат: PDF...
Магнитооптика тонких пленок Название: Магнитооптика тонких пленок Автор: А.К. Звездин, В.А. Котов Издательство: М.: Наука Год: 1988 ISBN: 5-02-013846-0 Серия: Проблемы науки и...
Технология микроэлектронных устройств Название: Технология микроэлектронных устройств Автор: Готра З.Ю. Издательство: Радио и связь Год: 1991 Формат: djvu Страниц: 530 Размер: 10 Mb Язык:...
Основы анализа поверхности и тонких пленок Название: Основы анализа поверхности и тонких пленок Автор: Фелдман Л., Майер Д. Издательство: М.: Мир Год: 1989 Формат: pdf Страниц: 344 Размер: 11...
Технология микросхем Название: Технология микросхем Автор: Иванов-Есипович Н.К. Издательство: Высшая школа Год: 1972 Страниц: 258 Формат: pdf Размер: 10 mb Качество:...
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники 
