Название: Современное технологическое оборудование для микроэлектроники Автор: Камлюк В.С., Камлюк Д.В. Издательство: РИПО Год: 2022 Cтраниц: 265 Формат: pdf Размер: 29 мб Язык: русский
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
Скачать Камлюк В.С., Камлюк Д.В. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники
|