|
 |
|
 |
|
|
 |
|
 |
|
Автор: Моряков О. С.
Название: Термические процессы в микроэлектронике
Издательство: М:, Высшая школа
Год: 1987
Страниц: 199
Формат: DJVU, PDF
Размер: 10 МБ
В книге описаны процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элионной технологией, а также нанесения эпитаксиальных, диэлектрических и металлических пленок. Рассмотрено технологическое оборудование. Третье издание (2-е — в 1980 г. "Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве") дополнено материалом по основным термическим процессам, а также сведениями об их комплексной автоматизации.
|
Автор: polyanskiy 8-02-2024, 09:06 | Напечатать |
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
С этой публикацией часто скачивают:
 |
Процессы микро- и нанотехнологий Название: Процессы микро- и нанотехнологий Автор: Пивоваренок С.А., Ситанов Д.В. Издательство: Иваново: Ивановский государственный... |
|
| |
|
| |
|
 |
Вакуумно-дуговые покрытия Название: Вакуумно-дуговые покрытия Автор: Андреев А.А., Саблев Л.П., Григорьев С.Н. Издательство: ННЦ ХФТИ Год: 2010 Формат: PDF Размер: 13.1 MB... |
| |
|
| |
|
|
|
|
|
 |
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.
|
|
|
|
|
|
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Термические процессы в микроэлектронике 
