Автор: Моряков О. С. Название: Термические процессы в микроэлектронике Издательство: М:, Высшая школа Год: 1987 Страниц: 199 Формат: DJVU, PDF Размер: 10 МБ
В книге описаны процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элионной технологией, а также нанесения эпитаксиальных, диэлектрических и металлических пленок. Рассмотрено технологическое оборудование. Третье издание (2-е — в 1980 г. "Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве") дополнено материалом по основным термическим процессам, а также сведениями об их комплексной автоматизации.
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
С этой публикацией часто скачивают:
Процессы микро- и нанотехнологий Название: Процессы микро- и нанотехнологий Автор: Пивоваренок С.А., Ситанов Д.В. Издательство: Иваново: Ивановский государственный...
Термические процессы в микроэлектронике Название: Термические процессы в микроэлектронике Автор: Моряков О. С. Издательство: Высшая школа Год: 1987 Формат: PDF/DjVu Страниц: 202 Размер: 10...
Производство силикатного кирпича (1989) Название: Производство силикатного кирпича Автор: Вахнин М.П., Анищенко А.А. Издательство: Высшая школа Год: 1989 Страниц: 200 Формат: PDF Размер:...
Заготовка деталей электровакуумных приборов Название: Заготовка деталей электровакуумных приборов Автор: Александрова А. Т., Полотай Г. А. Издательство: М:, Высшая школа Год: 1986 Страниц: 223...
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Термические процессы в микроэлектронике 
