Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленокКНИГИ » ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Название: Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленок Автор: Васильев В.Ю. Издательство: LAP Lambert Akademic Publishing Год: 2018 Формат: pdf Страниц: 388 Размер: 13 mb Язык: Русский
Область монографии – полученные методами химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) тонкие неорганические стеклообразные пленки, используемые в технологиях микроэлектроники, микро- и наносистемной техники, оптоэлектроники. На основании объемного экспериментального материала, в том числе полученного лично автором и коллективами под руководством автора, проанализированы процессы ХОГФ и свойства тонких пленок нитрида кремния, диоксида кремния, фосфор- и борсиликатных тонких пленок. Созданы основные представления о кинетике роста пленок при ХОГФ.
Тонкие Пленки. Взаимная Диффузия и Реакции Название: Тонкие Пленки. Взаимная Диффузия и Реакции Автор: Поут Дж., Ту К., Мейер Дж. (ред.) Жанр или тематика: Физика твердого тела Издательство:...
Технология изготовления ферромагнитных пленок Название: Технология изготовления ферромагнитных пленок Автор: Апокин И.А. Издательство: М-Л.: «Энергия» Год: 1966 Серия: Библиотека по автоматике....
Получение тугоплавких соединений из газовой фазы Название: Получение тугоплавких соединений из газовой фазы Автор: Вадим Михайлович Криворучко Издательство: М., Атомиздат Год: 1976 Страниц: 120...
Плазменная технология в производстве СБИС PDF Название: Плазменная технология в производстве СБИС PDF Автор: Айнспрук Н. Браун Д. Издательство: Москва, МИР Год: 1987 Страниц: 471 Формат: PDF...
Магнитооптика тонких пленок Название: Магнитооптика тонких пленок Автор: А.К. Звездин, В.А. Котов Издательство: М.: Наука Год: 1988 ISBN: 5-02-013846-0 Серия: Проблемы науки и...
Основы анализа поверхности и тонких пленок Название: Основы анализа поверхности и тонких пленок Автор: Фелдман Л., Майер Д. Издательство: М.: Мир Год: 1989 Формат: pdf Страниц: 344 Размер: 11...
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленок 
